º» ³»¿ëÀº ÇÁ¶û½ººÎ½ÄÇÐȸ °ü°èÀÚ¿Í ½ºÀ§½º, ½º¿þµ§, ÇÁ¶û½º, µ§¸¶Å©, µ¶ÀÏ, üÄÚÀÇ ¹Ú¹°°ü ¹× À¯°ü±â°ü¿¡¼ Aircorr¼¾¼¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼öÇàÇÑ ³í¹®À» Çѱ¹ÆÇ¸ÅÁ¡¿¡¼ Çѱ۷Π¹ø¿ªÇÏ¿© Á¦°øÇÏ´Â Á¤º¸ÀÔ´Ï´Ù.
1
°³·Ð
ÇöÀå
´ë±âºÎ½ÄÀÇ ½ÇÁúÀûÀÎ Æò°¡ ¾øÀÌ ºÎ½Ä¿¹¹æ
°ü¸®
°èȹÀ» ¼ö¸³ÇÑ´Ù´Â °ÍÀº ºÎÀûÀýÇϰųª °úµµÇÏ¿© ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌµé ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼
ÇØ´ç
´ë±âÀÇ ½ÇÁ¦ ºÎ½ÄÁ¤º¸¸¦
ÆÄ¾ÇÇÏ´Â °ÍÀº È¿°úÀûÀÎ ºÎ½Ä ¹æÁö¿¡ Áß¿äÇϸç À̰ÍÀº »ê¾÷
°è¿¡¼
ÀÌ¹Ì Àß ¾Ë·ÁÁø »ç½ÇÀÔ´Ï´Ù.
°ø±â¿¡ ÀÇÇÑ ºÎ½ÄÀº »ó´ë½Àµµ, ¿Âµµ, ¿À¿°°¡½º³óµµ ¹× ±âŸ ¿äÀο¡ µû¶ó ´Þ¶óÁý´Ï´Ù
.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î
´ë±âºÎ½ÄÀÇ È¯°æº¯¼ö¿äÀΰú ±Ý¼ÓÀÇ ºÎ½Ä¼Óµµ³ª ±Ý¼ÓÀç·áÀÇ ¿È »çÀÌÀÇ °ü°è´Â ´Ù¼Ò º¹ÀâÇϸç ȯ°æº¯¼ö¿äÀο¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ Áö½ÄÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. Á¦ÇÑµÈ ±âÈÄ µ¥ÀÌÅ͸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ´ë±âÀÇ ºÎ½Ä¼º(ºÎ½ÄÀ» ÀÏÀ¸Å°´Â
´É·Â) Æò°¡´Â À߸øµÈ °á°ú¸¦ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î
ÇØ´ç
±Ý¼ÓÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á÷Á¢ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀÌ ´õ ÀûÀýÇÕ´Ï´Ù.
¾×ü¸ÅÁú¿¡¼ÀÇ ºÎ½Ä ÃøÁ¤ÀåÄ¡µéÀº ºñ±³Àû ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô ÀÖÁö¸¸ ´ë±â(°ø±â)¿¡¼ÀÇ ½Ç½Ã°£ ºÎ½Ä ÃøÁ¤ÀåÄ¡µéÀº ¸Å¿ì Á¦ÇÑÀûÀÔ´Ï´Ù. ¿©±â¿¡ ´ë±âºÎ½ÄÀ»
Áö¼ÓÀûÀ¸·Î °üÂû °¡´ÉÇÑ ÀåÄ¡¿¡
´ëÇØ
¼Ò
°³ÇϰíÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ ÀåÄ¡´Â ¡®Automated corrosion sensors as online real time process control
tools (¿Â¶óÀÎ
½Ç½Ã°£À¸·Î ÃøÁ¤µÇ´Â ÀÚµ¿ÈµÈ ºÎ½Ä¼¾¼)¡¯ÀÇ °úÁ¦ ¸íÀ¸·Î À¯·´¿¬ÇÕÀ§¿øÈ¸ÀÇ ÀÚ±ÝÀ» Áö¿ø¹Þ¾Æ °³¹ßµÈ ½Ç³», ½Ç¿ÜÀÇ
´ë±â»óÅ¿¡ ´ëÇÑ ºÎ½ÄÃøÁ¤¼¾¼ÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¦ÀÇ ¸ñÇ¥´Â ´ë±â¿¡¼ °¢Á¾ ±Ý¼ÓÀÇ ºÎ½Ä¼Óµµ¸¦ ½Ç½Ã°£À¸·Î ÃøÁ¤ÇÏ´Â
ÀåÄ¡¸¦ °³¹ßÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Ãß°¡ÀûÀÎ ³»¿ëÀ¸·Î´Â
2. ÀÛµ¿¿ø¸®
ÀÛµ¿¿ø¸®´Â
°£
´ÜÇÏÁö¸¸ ¸Å¿ì È¿°úÀûÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ ÀüÀÚÀåÄ¡´Â Àý¿¬±âÆÇ¿¡ Àû¿ëµÈ
¾ãÀº ±Ý¼Ó¼±·ÎÀÇ Àü±âÀúÇ× º¯È¸¦ ½Ç½Ã°£À¸·Î ÃøÁ¤ÇÏ°í ±â·ÏÇÕ´Ï´Ù. ±Ý¼ÓÀÌ ºÎ½ÄµÇ¸é ¼±·ÎÀÇ ´Ü¸éÀûÀÌ °¨¼ÒÇϰí
Àü±âÀúÇ×Àº Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù. Â÷ÆóµÈ ¼±·Î(ÂüÁ¶¼±·Î)´Â ÄÚÆÃÀ̳ª Å×ÀÌÇÁ¿¡ ÀÇÇØ º¸È£µÇ±â ¶§¹®¿¡ ¿Âµµº¯È·Î ÀÎÇÑ Àü±âÀúÇ× º¯È¸¦ º¸Á¤ÇÏ´Â ±âÁØ¿ªÇÒÀ» ÇÕ´Ï´Ù. ¼¾¼ÀÇ °³·«µµ´Â ±×¸²1°ú °°½À´Ï´Ù.
±Ý¼Ó¼±·ÎÀÇ ³Êºñ´Â ±Ý¼ÓÀÇ À¯Çü¿¡ µû¶ó 1~2mmÀ̸ç, ±æÀÌ´Â
100mm°¡ Á¶±Ý ³Ñ´Â Á¤µµÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ Çü»óÀº ºÎ½ÄÀ¸·Î ÀÎÇÑ
Àü±âÀúÇ× º¯È¿¡ ´ëÇØ ³ôÀº °¨µµ¸¦ º¸ÀÌ´Â ±¸Á¶ÀÔ´Ï´Ù. ±×·¯³ª ¼¾¼ÀÇ °¨µµ¿Í °èÃø¼ö¸íÀº ÁÖ·Î ¼±·ÎÀÇ µÎ²²¿¡
µû¶ó ´Þ¶óÁý´Ï´Ù. µÎ²²°¡ ¾ãÀ¸¸é °¨µµ´Â ³ô¾ÆÁöÁö¸¸ °èÃø¼ö¸íÀº ª¾ÆÁý´Ï´Ù. µû¶ó¼ ¼±·ÎµÎ²²°¡ ´Ù¸¥ ¼¾¼¸¦ ´Ù¾çÇÑ È¯°æ¿¡¼ Àû¿ëÇÏ¿© Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¼¾¼ÀÇ
ºÎ½Ä ±íÀÌ (CD)´Â ¾Æ·¡ ¹æÁ¤½Ä¿¡ µû¶ó °è»êµË
´Ï´Ù.
tinit
´Â ÂüÁ¶¼±·ÎÀÇ Ãʱâ
µÎ²²·Î¼ ¼¾¼¼±·ÎÀÇ ÃʱâµÎ²²¿Í µ¿ÀÏÇÏ´Ù°í °¡Á¤ÇÕ´Ï´Ù. Rsens,
Rref´Â ¼¾¼ ¹× ÂüÁ¶¼±·ÎÀÇ ÇöÀçÀúÇ×À̸ç, Rsens,init, Rref,init´Â ¼¾¼
¹× ÂüÁ¶¼±·ÎÀÇ ÃʱâÀúÇ× ÀÔ´Ï´Ù. °è»êÀº Àü·ù°¡ È帣´Â ±Ý¼Ó¼±·Î¿¡¼ÀÇ ÀüÀ§Â÷·Î ÃøÁ¤µÈ Àü±âÀúÇ×À» ±â¹ÝÀ¸·Î
ÇÕ´Ï´Ù.
¼¾¼¿¡ ºÎÂøµÈ ±Ý¼ÓÁ¾·ù¿Í ±× ±Ý¼ÓÀÇ µÎ²²´Â Ç¥1 ¹× ±×¸²2¿¡ ³ª¿ µÇ¾î ÀÖ ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¼¼°¡Áö Á¾·ùÀÇ ¼¾¼°¡ °³¹ß µÇ¾úÀ¸¸ç ±×¸²3¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
½Ç³»¿ë ¼¾¼´Â IP44 ¹æ¼ö¼º´É¿¡
100 x 65 x 50mm Ä¡¼öÀÇ Æú
¸®Ä«º¸³×ÀÌÆ® ÀçÁúÀÌ¸ç ¿ÜºÎ¿¡ ¿¬°á´ÜÀÚ°¡
Á¦°øµÇ¾î Çʿ信 µû¶ó ¼¾¼¸¸À» ½±°Ô ±³Ã¼ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÂüÁ¶¼¾¼´Â Åõ¸íÄÚÆÃ Ã³¸®µÇ¾î º¸È£µË´Ï´Ù.
¹Ý¸é¿¡ ½Ç¿Ü¿ë ¼¾¼´Â IP65 ¹æ¼ö¼º´É¿¡
100
x 65 x 42mm
Ä¡¼öÀÇ Æú
¸®Ä«º¸³×ÀÌÆ® ÀçÁúÀÌ¸ç ¼¾¼ÀÇ ¼ö¸íÀÌ ´ÙÇÏ¸é ¼¾¼¸¦
Æ÷ÇÔÇÑ ¶Ñ²± Àüü¸¦ ±³Ã¼ÇÕ´Ï´Ù. ÂüÁ¶¼¾¼´Â Æú¸®¿ì·¹Åº ÁÖ¹°·Î º¸È£µË´Ï´Ù. ½Ç³»Ç÷¯½ºÇüÀº
IP44
¹æ¼ö¼º´É¿¡ 157 x 127 x 70mm Ä¡¼öÀÇ Æú
¸®Ä«º¸³×ÀÌÆ® ÀçÁúÀ̸ç
µ¿ÀÏ ¶Ç´Â ´Ù¸¥ µÎ ±Ý¼ÓÀÇ ¼¾¼·ÎºÎÅÍ µ¿½Ã¿¡ ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Ãß°¡ÀûÀ¸·Î ¿Âµµ ¹× »ó´ë½Àµµ°¡ ±â·ÏµÇ¸ç, ºÎ½Ä ±íÀÌ ¹× ±âÈĺ¯¼ö¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ µð½ºÇ÷¹ÀÌÆÐ³Î¿¡¼ ÀÐÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÃøÁ¤°¨µµ¿Í ºÎ½Ä¼Óµµ¸¦
°í·ÁÇÏ¿© Çʿ信 µû¶ó ÃøÁ¤Áֱ⸦ ¸î ºÐ¿¡¼ ¸î ½Ã°£±îÁö Á¶Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÃøÁ¤ÇÏ¿© ÀúÀåµÈ µ¥ÀÌÅÍ´Â
ºñ Á¢Ã˹æ½ÄÀ¸·Î µ¥ÀÌÅÍ Àбâ ÀåÄ¡¸¦ ÅëÇÏ¿© ¼¾¼¿¡¼ ÄÄÇ»ÅÍ·Î ÇØ´ç µ¥ÀÌÅ͸¦ ´Ù¿î¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¼¾¼¿¡
ºÎÂøµÈ ¹èÅ͸®´Â ±³Ã¼°¡ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ ¼¾¼ÀåÄ¡´Â ¹èÅ͸® ¹æ½ÄÀ̱⠶§¹®¿¡ ¿ÜºÎ¿¡¼ÀÇ Àü¿ø°ø±ÞÀåÄ¡ ¾øÀÌ
¿ÏÀüÈ÷ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î ¾îµð¿¡¼³ª ¼³Ä¡ÇÏ¿© ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ÃøÁ¤ÇÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ½Å¼ÓÇÏ°Ô ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »ç¿ëÇϱâ
ÆíÇÑ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î°¡ Á¦°øµË´Ï´Ù.
3. ÃøÁ¤
3.1
¹Î°¨µµ
»ó´ë½Àµµ´Â 30% ~ 85%, ¿Âµµ´Â 20¡É ~
30¡É·Î º¯ÈÇÏ´Â ´ë±âȯ°æÁ¶°Ç¿¡¼ ¼¾¼ÀåÄ¡ÀÇ ¹Î°¨µµ¸¦ Å×½ºÆ®ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ±×¸²4´Â Cu500nm ¼¾¼ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÃøÁ¤°á°úÀÔ´Ï´Ù.
óÀ½¿¡´Â 20¡É ¿Âµµ¿Í 33% ³·Àº »ó´ë½ÀµµÀÇ °ø±â¿¡ ³ëÃâÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ±×·± ´ÙÀ½ ¿Âµµ´Â º¯È ¾ø°í »ó´ë½Àµµ 85%ÀÎ Àΰø±âÈĽǷΠ¿Å°å½À´Ï´Ù. ¸¶Áö¸· ´Ü°è¿¡¼´Â ¿Âµµ¸¦ 30¡É·Î Áõ°¡½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ±×¸²4¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ °ø±âºÎ½Ä¿¡ ´ëÇÑ º¯È´Â ¸î ºÐ À̳»¿¡ Áï½Ã
°üÂûµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ±¸¸®ÀÇ ºÎ½Ä¼Óµµ´Â °ÇÁ¶ÇÑ °ø±â¿¡¼ 0.3 nm/¿ùÀ»
½ÀÇÑ °ø±â¿¡¼ 2 nm/¿ù·Î º¯ÈµÇ¾úÀ¸¸ç, ¿Âµµ°¡ »ó½ÂÇϸé
7 nm/¿ù·Î Áõ°¡ÇÏ´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.
ANSI/ISA-71.04-1985ÀÇ ºÎ½ÄÆò°¡ ±âÁØÀ¸·Î´Â °üÃøµÈ ¸ðµç ºÎ½Ä¼Óµµ´Â ¡°G1-Mild¡±À¸·Î
³·Àº ºÎ½Ä¼öÁØ¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù. °³¹ßµÈ ¸ðµç ¼¾¼¿¡ ´ëÇØ¼ µ¿ÀÏÇÑ Å×½ºÆ®°¡ ¼öÇàµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¿Âµµ°¡ ÀÏÁ¤ÇÑ »óÅ¿¡¼ ¼¾¼°¨µµ´Â ±Ý¼Ó¼±·Î µÎ²²ÀÇ ÃÖ¼Ò 1/2000¿¡
À̸£¸ç, ¿Âµµº¯È¿¡ µû¸¥ °¨µµ´Â 1/1000·Î ¶³¾îÁö´Â °ÍÀ¸·Î
¹àÇôÁ³½À´Ï´Ù. Áï ¼¾¼ÀÇ ±Ý¼ÓÁ¾·ù¿¡ µû¶ó ¹Î°¨µµ´Â ½Ç³»¿ëÀÇ °æ¿ì 0.1
nm ÀÌÇÏ¿¡¼ ½Ç¿Ü¿ëÀÇ °æ¿ì 200 nm±îÁö ´Ù¾çÇÕ´Ï´Ù.
3.2
ÀçÇö¼º°ú Á¤È®µµ
¼¾¼ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿©
Renault standard D17 2028/2002ÀÇ ECC1 Á¶°ÇÀ¸·Î
¶Ç ´Ù¸¥ ½ÇÇèÀÌ ¼öÇàµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ Å×½ºÆ®´Â 35¡ÉÀÇ ÀÏÁ¤ÇÑ
¿Âµµ¿¡¼ ¼öÇàµÇ´Â ¼øÈ¯ ½À½Ä / °Ç½Ä Å×½ºÆ®·Î¼ ¸ÅÀÏ 30ºÐ
µ¿¾È pH4ÀÇ 1 wt. % NaCl ¿ë¾×ÀÌ ºÐ»çµË´Ï´Ù. Cu9um, Zn50um, Fe50um¿Í Fe250um 4Á¾·ùÀÇ
±Ý¼Ó¼¾¼¿Í ÇÔ²² 150x100mm Å©±âÀÇ ±¸¸®, ¾Æ¿¬, ö ±Ý¼ÓÄíÆùÀÌ ½ÇÇè Å×½ºÆ®¿¡ ³ëÃâµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ±×¸²5ÀÇ ¿ÞÂÊÀº 6°³ÀÇ Cu9um ¼¾¼·ÎºÎÅÍ
ÃøÁ¤µÈ ºÎ½Ä ±íÀÌ¿¡ ´ëÇØ¼ ¸Å¿ì ¿ì¼öÇÑ ÀçÇö¼ºÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. Å×½ºÆ®¿¡¼ ³ëÃâµÈ ±Ý¼ÓÄíÆùÀº Å×½ºÆ®°¡ Á¾·áµÇ¸é
ISO 8407 standard¿¡ µû¶ó¼ ¹«°Ô°¨·®À» ¼öÇàÇÏ¿© Æò°¡ÇÕ´Ï´Ù. °¨·®µÈ ¹«°Ô´Â ºÎ½ÄÀÌ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÁøÇàµÇ¾ú´Ù°í °¡Á¤ÇÏ°í ºÎ½Ä ±íÀÌ·Î ´Ù½Ã °è»êµË´Ï´Ù. ±×¸²5ÀÇ ¿À¸¥ÂÊ¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ Àü±âÀúÇ×¼¾¼·Î ÃøÁ¤ÇÑ ºÎ½Ä ±íÀÌ¿Í
±Ý¼ÓÄíÆùÀ¸·Î °è»êµÈ ±Ý¼Ó ±íÀ̴ ö°ú ¾Æ¿¬¿¡¼ ÁÁÀº »ó°ü°ü°è¸¦ ¾ò¾ú½À´Ï´Ù. ºÎ½Ä ±íÀÌ´Â 7 Á¤µµ·Î öÀ̳ª ¾Æ¿¬ ±Ý¼ÓÄíÆùº¸´Ù 30~42% ´õ ³ôÀº ¼öÄ¡¸¦ º¸¿´½À´Ï´Ù. ±¸¸®¼¾¼´Â ±¸¸®ÄíÆùº¸´Ù ÈξÀ ³ôÀº ºÎ½Ä ±íÀ̸¦ ³ªÅ¸³»¾ú½À´Ï´Ù.
Á¦½ÃµÈ µ¥ÀÌÅÍ´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±Ý¼Ó½ÃÆíº¸´Ù Àü±âÀúÇ×¼¾¼ÀÇ ºÎ½Ä ±íÀ̰¡ ´Ù¼Ò ³ô´Ù´Â °ÍÀ»
º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. Àü±âÀúÇ×±â¼úÀº º»ÁúÀûÀ¸·Î ±Ý¼Ó¼±·ÎÀÇ ÃÖ´ëºÎ½Ä ±íÀ̸¦ °è»êÇÏ´Â ¹Ý¸é ±Ý¼ÓÄíÆùÀº Æò±ÕºÎ½Ä ±íÀ̸¦
°è»êÇϱ⠶§¹®¿¡ ÀÌ´Â ³î¶ó¿î Àϵµ ¾Æ´Õ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ±Ý¼ÓÆÇÀÇ °æ¿ì ¸ð¼¸®È¿°ú´Â °ÅÀÇ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹Ý¸é
Àü±âÀúÇ×¼¾¼ÀÇ ÆÇµ¶ °ª¿¡´Â ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù. ¿øÄ¢ÀûÀ¸·Î Àü±âÀúÇ×±â¼úÀÇ Àû¿ëÀº ÁÖ¾îÁø Àç·áÀÇ ºÎ½ÄÀÌ ´ëºÎºÐ
±ÕÀÏÇÏ°Ô ÁøÇàµÇ´Â Á¶°ÇÇÏ¿¡¼´Â Á¦ÇÑÀûÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ Á¶°ÇÀº ECC1 Å×½ºÆ®¿Í
°°ÀÌ °ø°ÝÀûÀÎ ¿°È¹°ÀÌ Ç³ºÎÇÑ È¯°æ¿¡¼ ±¸¸®ÀÇ °æ¿ì ÃæÁ·µÇÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù. ƯÁ¤ ±Ý¼Ó¿¡ ´ëÇÑ Àû¿ëÇѰ踦
´õ Àß Á¤ÀÇÇϱâ À§ÇØ ´Ù¾çÇÑ ¸ðµ¨ ¹× ȯ°æ¿¡¼ Ãß°¡ Å×½ºÆ®°¡ ÁøÇàµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
3.3
À¯±â»êÀÌ Æ÷ÇÔµÈ °ø±â¿¡¼ÀÇ ºÎ½Ä
°¡½º¿À¿°³óµµ Á¦¾î°¡ ÀߵǴ ´ë±âȯ°æ¿¡¼ ºÎ½ÄÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ½ÇÇèÀåÄ¡°¡ ¼³°è Á¦À۵Ǿú½À´Ï´Ù. ÀÌ ½ÇÇèÀåÄ¡¿¡´Â °ø±âÁ¦½À±â, °ø±âÇÊÅÍ, °¡½º¹ß»ý±â, °¡½À±â, ³ëÃâ°ø°£, ¹è±âó¸®ÀåÄ¡·Î ±¸¼ºµÇ¸ç, ±×¸²7¿¡
³ª¿ÍÀÖ½À´Ï´Ù. °¡½º¹ß»ý±â´Â ¸ñÇ¥·Î Á¤ÇÑ ¿À¿°¼öÁرîÁö °¡½º¿À¿°¹°ÁúÀÌ Æ÷ÇÔµÈ °ø±â¸¦ »ý¼ºÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ °¡½º¹ß»ý±â´Â ¿Âµµ°¡ 30 ~ 100¡É (¡¾0.1¡É)·Î Á¤¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îµÇ´Â ¿Àºì°ú Áú·®À¯·®Á¦¾î±â·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿À¿°¹°ÁúÀÇ
¹ß»ýÀº PTFE Åõ°úÆ©ºê¿¡ ÇØ´ç ¿À¿°¹°ÁúÀ» ä¿ö¼ ¿Àºì¿¡ µÎ¸é µË´Ï´Ù.
ÁÖ¾îÁø ¿Âµµ¿¡¼ Æ©ºêÀÇ Åõ°úÀ²Àº ÀÏÁ¤ÇÏ¸ç ¿Âµµ°¡ Áõ°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù. ¾Æ¼¼Æ®»ê ¹×
Æ÷¸§»êÀÌ ÇÔÀ¯µÈ Åõ°úÆ©ºê¸¦ Á¦Á¶Çϰųª ±¸ÀÔÇÏ¿© º¸Á¤ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¹èÃâ°ø±â¿¡ ¾à 900ppbÀÇ ¾Æ¼¼Æ®»ê°ú ¾à 1600ppbÀÇ Æ÷¸§»ê¿¡ À̸£±â±îÁö ÁöÁ¤ÇÑ
³óµµ·ÎÀÇ Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Àü±âÀúÇ×¼¾¼´Â ±×¸²7ÀÇ ¿À¸¥ÂÊ¿¡
³ëÃâµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. »ó´ë½Àµµ 15~80%, 0~870ppb ³óµµÀÇ
¾Æ¼¼Æ®»êÀÌ Æ÷ÇÔµÈ °ø±â¿¡¼ ÃøÁ¤µÈ Cu500nmÀÇ ºÎ½Ä ±íÀ̰¡ ±×¸²8¿¡
³ª¿ÍÀÖ½À´Ï´Ù. ½ÇÇèÀº 20¡É¿¡¼ ¼öÇàµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ûµ¿ÀÇ ºÎ½Ä ¼Óµµ´Â »ó´ë½Àµµ¿Í ¾Æ¼¼Æ®»ê ³óµµ¿¡ µû¶ó Áõ°¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ ºÐ¸íÇÕ´Ï´Ù.
¿À¿°¹°ÁúÀÌ ´ë±â ÁßÀ¸·Î À¯ÀÔµÈ ÈÄ ºÎ½Ä ±íÀ̰¡ ±Þ°ÝÇÏ°Ô Áõ°¡Çϱ⠽ÃÀÛÇßÀ¸¸ç ÀÌ´Â ¿À¿°³óµµ ¼³Á¤¿¡ µû¶ó ºü¸¥ ¹ÝÀÀÀ» ³ªÅ¸³À´Ï´Ù. ¹Ý´ë·Î ¿À¿°¹°Áú ³óµµ°¡ °¨¼ÒÇÑ ÈÄ ºÎ½Ä ¼Óµµ°¡ °¨¼ÒÇϱâ±îÁö´Â ¸çÄ¥ÀÌ °É·È½À´Ï´Ù. ÀÌ´Â »ó´ë½Àµµ°¡ °¨¼ÒÇÏ´Â Á¶°Ç¿¡¼µµ µ¿ÀÏÇÏ°Ô °üÂûµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¿¹¸¦
µé¾î ±×¸²8ÀÇ 870 ppb
–
80%
»ó´ë½Àµµ¿¡¼ 0 ppb
–
15%
»ó´ë½Àµµ·ÎÀÇ °¨¼Ò¿¡¼ ³ªÅ¸³³´Ï´Ù. ½ÇÇè°ø±â´Â ¾à15ºÐ À̳»¿¡ ±³È¯µÇ±â ¶§¹®¿¡ °ø±â Áß¿¡ ÀÖ´Â ¿À¿°¹°ÁúÀÌ Á¦°ÅµÈ ÈÄ¿¡µµ ÈíÂøµÈ ¿À¿°¹°ÁúÀÇ ¸·ÀÌ ¿À·§µ¿¾È ±Ý
¼ÓÇ¥¸é¿¡ ³²¾ÆÀֱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù.
¾Æ¼¼Æ®»ê ³óµµ¿Í »ó´ë½Àµµ°¡ ûµ¿ ºÎ½Ä¼Óµµ¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ¿¡ ´ëÇØ¼ ³ªÅ¸³»¾ú½À´Ï´Ù. ºÎ½Ä¼Óµµ´Â ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Ç¥ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
¿©±â¼
4.
°á·Ð
°³¹ßµÈ ¼¾¼±â¼úÀº
ºñÀüµµ¼º±âÆÇ À§¿¡ Àß Á¤ÀÇµÈ ±ÕÀÏÇÑ ±Ý¼Ó¼±·Î¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ÀüÀÚ¼¾¼ÀåÄ¡´Â ºÎ½Ä ±íÀ̸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇÏ´Â
»ç¿ëÇÏ±â ÆíÇÑ ÀåÄ¡ÀÔ´Ï´Ù. ¼¾¼¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ºÎ½ÄÅ×½ºÆ® ÃøÁ¤°á°ú·ÎºÎÅÍ ³ôÀº °¨µµ, ªÀº ÀÀ´ä½Ã°£, ¿ì¼öÇÑ ÀçÇö¼º ¹× Á¤È®µµ¸¦ ÀÔÁõÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ±Ý¼Ó¼±·Î µÎ²²ÀÇ 1/1000 - ½Ç³»¿ë ¼¾¼ÀÇ °æ¿ì´Â 1/10nm¸¦ ÀÎÁöÇÏ´Â °¨µµ - ½Ç½Ã°£ ¸ð´ÏÅ͸µ¿¡ ÃæºÐÇÑ °¨µµ¸¦ ³ªÅ¸³À´Ï´Ù. ¼·Î ´Ù¸¥ »ó´ë½Àµµ¿¡¼ Æ÷¸§»ê°ú ¾Æ¼¼Æ®»êÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â °ø±â¿¡¼ ¿©·¯ ±Ý¼Ó¿¡ ´ëÇÑ ºÎ½Ä¼Óµµ°¡ ¿¬±¸µÇ¾ú½À´Ï´Ù. 80% »ó´ë½Àµµ¿Í 20¡É ¿Âµµ¿¡¼ ºÎ½Äµî±Þ IC1 ¸Å¿ì ³·À½¿¡¼ IC2 ³·À½À¸·Î µî±Þº¯È¸¦ ÀÏÀ¸Å°´Â ÀÓ°è¹üÀ§´Â
Æ÷¸§»ê 220 ~ 460 ppb »çÀÌ·Î ¹àÇôÁ³½À´Ï´Ù. ºÎ½Äµî±Þ
IC2 ³·À½¿¡¼ IC3 Áß°£À¸·ÎÀÇ º¯È´Â Æ÷¸§»ê 460 ~ 1000 ppb¿¡¼ °üÂûµÇ¾ú½À´Ï´Ù.